1.聚焦離子束系統(tǒng)

  據(jù)相關(guān)介紹表明聚焦離子束系統(tǒng)應(yīng)用主動防震臺有助于大幅度提升蝕刻、沉積、離子注入的加工質(zhì)量。因為部分聚焦離子束系統(tǒng)在加工時容易受到地表震動或者火山噴發(fā)等異常環(huán)境的影響，這就容易使蝕刻、沉積、離子注入等加工出現(xiàn)偏差，而隔離震動后的加工效果將會得到提升。

  2.掃描探針顯微鏡

  主動防震臺還可容納并擴展至掃描探針顯微鏡。有許多科研人員在進行納米尺寸以及分子水平觀察時會在不經(jīng)意間受到某些震動的影響，而主動防震臺的六個自由度防護功能將會隔離振動信號，并且通過相反信號緩解并降低它的影響力。

  3.電阻拓展測試系統(tǒng)

  據(jù)調(diào)查反饋近些年主動防震臺在電阻拓展測試系統(tǒng)中的應(yīng)用率也越來越高。電阻拓展測試系統(tǒng)在進行超聲波測距或者信號采集時，若是有震動干擾，容易導(dǎo)致測試系統(tǒng)的參數(shù)出現(xiàn)微小浮動，而這種微小浮動也有可能導(dǎo)致信號采集數(shù)據(jù)失效或者電阻拓展試驗失敗。

  主動防震臺的強大防震能力已得到科研人員與市場的認可與贊許。特別是那些性能可靠的主動防震臺更是粉絲量爆漲，據(jù)不完全統(tǒng)計，主動防震臺較為經(jīng)典應(yīng)用類型除了包括聚焦離子束系統(tǒng)、掃描探針顯微鏡以及電阻拓展測試系統(tǒng)外，還包括掃描隧道顯微鏡以及晶圓探測器等。